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日商Air Water量产全球最大尺寸SiC基板

来源:佳胤资讯网
  
日商AirWaterInc.20日发布新闻稿宣布,已成功研发出可生产全球最大尺寸的“碳化矽(SiC)”基板量产技术,借由该技术所生产的SiC基板尺寸可达8寸(现行主流为4寸)。AirWater表示,已投下约20亿日圆于安昙野工厂内整备出月产2,000片的量产体制。据日经指出,AirWater该8寸SiC基板已进行样品出货,AirWater并计划于2016年以后将SiC基板事业营收扩增至数百亿日圆的规模。AirWater表示,SiC基板可充做电源控制芯片、LED的底层基版,而该公司上述量产技术可同时满足“大面积”、“高品质结晶”及“低成本”等要求,故可望对电源控制芯片、LED的加快普及带来贡献。
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